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超高真空可调式插板阀

  • 1 超高真空可调式插板阀

一、简介

  此阀门为带步进电机的控制插板阀,在结构设计上合理,外形上美观,并具有精度高、使用可靠、寿命长等优点,能广泛应用于需要调节阀门的开启度来控制流量的超高真空设备中。阀门分别以步进电机传动力矩为动力,通过传动杆推(拉)动连杆机构,带着驱动体沿轴向运动,驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接,完成阀板开启及关闭动作。阀门作为一个节流元件动作,驱动由驱动器,步进电机和控制器来完成,其中控制器提供一个位置控制模式,它允许控制阀以选定速度在开和关的任意位置,而电源控制也可手动调节,电源控制时,为脉冲信号控制,速度快,定位准。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。

二、特点

• 轴封为波纹管密封,其它密封件为氟橡胶,无润滑剂设计;

• 阀体采用不锈钢内部焊接,漏率小;

• 阀体采用加强筋结构,体积小、重量轻,外形美观;

• 采用双导轨轴承滚轮机构,运动平稳;阀板整体式结构,支撑力均匀;

• 步进电机驱动,阀门的阀板开启位置任意可调,可用于调节流量。

三、主要性能指标

• 适用范围:1×10-6Pa~1.2×105Pa(盖板氟胶圈密封)

• 打开时插板上的压差:≤3×103Pa任意方向

• 阀体和阀座漏率: <1.3×10-7Pa·L·s-1

• 首次保养循环次数:10,000次

• 阀体烘烤温度:打开时≤200℃;关闭时≤150℃

• 安装位置:任意

• 电源:交流220V 50Hz或直流50V以下,电流最大为5.5A

• 阀门开启或关闭时间:可调

• 阀门位置指示:全关、全闭位置指示开关(微动开关),其它位置通过脉冲来控制

• 阀门重量:见重量手册

1 超高真空可调式插板阀

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