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矩形超高真空插板阀

  • 7 矩形超高真空插板阀

一、简介

  此系列阀门为气动驱动方式,在结构上设计合理,外形上美观,并具有动作平稳、冲击振动小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点,是半导体行业中真空设备自动化首选阀门之一。阀门是以压缩空气推动气缸为动力,通过传动杆推(拉)动连杆机构,带着驱动体沿轴向运动,驱动体通过摆杆与阀板连接并带动阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。

二、特点

• 采用多摆杆均匀分布支撑结构,阀板受力均匀,阀门开启冲击振动小,噪声低;

• 四滚轮支撑运动机构,动作平稳,运动噪声小;

• 动密封采用波纹管密封,其它密封件为氟橡胶,密封可靠;

• 阀体采用不锈钢内部焊接,漏率小;

• 在更小的体积上,一次性通过更多的工件,合理使用了空间。

三、主要性能指标

• 适用范围:1×10-6Pa~1.2×105Pa

• 打开时插板上的压差:≤2×103Pa任意方向

• 阀体和阀座漏率: <1.3×10-7Pa·L·s-1

• 首次保养循环次数:10,0000次

• 阀体烘烤温度:≤150℃

• 安装位置:驱动体水平或垂直

• 电源:交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W(特殊规格可定做)

• 压缩空气:0.5~0.7MPa

• 阀门开启或关闭时间:根据公称通径而定

• 阀门位置指示:带有启闭位置指示开关(磁性开关)

• 阀门重量:以不同公称通径而定

7 矩形超高真空插板阀

7 矩形超高真空插板阀

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