12-8 立式、卧式、方形真空系统集成
立式、卧式、方形真空系统集成
一、简介
单室或双室间歇式真空设备，其缺点式效率低、能耗大、成本高、产量小，不适合大批量生产。为了克服上述缺点，满足现代工业大批量生产的需要，公司在多年研制单室、双室间歇式真空设备的基础上，针对连续式真空设备的关键性技术难题进行攻关，独立开发
精心设计，成功的研制出多室连续式真空设备及空间真空锁。
二、特点
该类型产品为全自动、流水线式，多室组合、机电一体化真空设备，其结构新颖，操作简便，性能先进，运行可靠。多室连续式真空设备由进料室、预热室、工作室、冷却室、出料室、室间真空锁(可根据基片尺寸有针对性设计制造)、真空系统、工件传递系统、水冷系统、电控系统等部件组成。由于采用积木组合式设计，根据用户需要可以任意搭配组合成七室、五室、三室不同规模和不同形式的生产线，以满足大小不同的产量需要。
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